Abstrato

Revelando a alta fidelidade do processo de nanomoldagem pela extração de informações da imagem AFM com artefatos sistemáticos

Sajal Biring

Um estudo de microscopia de força atômica em modo de contato (c-AFM) foi realizado para perceber a alta fidelidade de um processo de nanomoldagem onde nanoestruturas fabricadas em um master de silício são replicadas em uma superfície de alumínio. As imagens de AFM das nanoestruturas mostram artefatos sistemáticos devido ao tamanho finito da ponta do AFM e, portanto, definem uma limitação para a estimativa na fidelidade do processo de nanomoldagem. A análise quantitativa apresentada nesta carta permite extrair os parâmetros necessários para revelar a alta fidelidade do processo de nanomoldagem enquanto a largura real e a profundidade das nanoestruturas ainda são desconhecidas. Este trabalho fornece uma direção para as pesquisas no campo da microscopia de força atômica de nanoestruturas para analisar os dados com precisão na presença de artefatos sistemáticos.